标准名称: | 利用Si(111)晶面原子台阶对原子力显微镜亚纳米高度测量进行校准的方法 |
英文名称: | Test method for calibrating the z-magnification of an atomic force microscope at subnanometer displacement levels using Si(111) monatomic step |
中标分类: | 仪器、仪表 >> 仪器、仪表综合 >> 基础标准与通用方法 |
ICS分类: | 试验 >> 试验条件和规程综合 |
发布部门: | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会 |
发布日期: | 2011-12-30 |
实施日期: | 2012-05-01 |
首发日期: | 2011-12-30 |
作废日期: | |
主管部门: | 全国纳米技术标准化技术委员会(SAC/TC 279) |
提出单位: | 中国科学院 |
归口单位: | 全国纳米技术标准化技术委员会(SAC/TC 279) |
起草单位: | 国家纳米科学中心 |
起草人: | 朱晓阳、杨延莲、贺蒙、高洁 |
出版社: | 中国标准出版社 |
出版日期: | 2012-05-01 |
页数: | 16页 |
本标准规定了利用Si(111)晶面原子台阶高度样品校准原子力显微镜z向标度的测量方法。
本标准适用于在大气或真空环境下工作的原子力显微镜,并且其z 向放大倍率达到最大量级,即z向位移在纳米和亚纳米范围内,这是原子力显微镜用于检测半导体表面,光学器件表面和其他高科技元件表面中经常用到的检测范围。
本标准并未指出所有可能的安全问题,在应用本标准之前,使用者有责任采取适当的安全和健康措施,并保证符合国家有关法规规定的条件。
没有内容
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